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SUN-100P系列紫外正性光刻膠

SUN-100P系列是非化學放大型i-線正性光刻膠,其特點是高解析度,可以達到0.35微米HP。這個系列的產品傳承了星泰克光刻膠的粘附性基因,大部分情形下無需HMDS處理基底。SUN-100系列特別適應于高解析度干法刻蝕工藝。


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