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LOR光刻膠

LOR是芯片制造過(guò)程中金屬布線的常用工藝,星泰克SUN-LOR001可以在顯影的時(shí)候精確控制undercut,星泰克提供LOR以及與之搭配的光刻膠整套方案。SUN-LOR001容易清洗,性能穩(wěn)定。

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